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自動化が進んでいない、または自動化が難しい半導体製造マニュアルライン内の情報統合、生産部門・管理部門・設計部門の連携を図り、マニュアルライン運営上の悩みを解決する三菱電機インフォメーションシステムズの半導体生産ライン向け生産管理システム。納期遵守・コスト低減・品質向上を徹底支援します。
![半導体生産ライン向け生産管理システム概要図](/business/products/mes/images/img01.jpg)
365日・24時間稼働のミッションクリティカルなシステムに対応。数多くの納入実績と稼働実績に基づく冗長性を備えた高信頼性システムを構築し、納期遵守・コスト低減・品質向上に貢献します。
枚葉管理・ロット管理など多品種少量(変量)生産に柔軟に対応。複数品種のウエハを1キャリア内に混在管理でき、また実験品・開発品を量産品と混在でライン投入・管理することも可能です。
システムを停止せずアプリケーションプログラムや定義情報の変更が可能。システム稼働率向上を実現します。
Linux搭載のスタンドアロンPCから高信頼のUNIX分散システムまで生産規模・形態に合わせたシステム拡張性を保有。またバーコードリーダによる簡易入力や自動認識したロットに対する検索機能など、人にやさしい優れた操作性を備えています。