・RD55UP06-V-BZ10/-BZ12/-BZ14(日本語版) ・RD55UP12-V-BZ10/-BZ12/-BZ14(日本語版)
・RD55UP06-V-BZ11/-BZ13/-BZ15(英語版) ・RD55UP12-V-BZ11/-BZ13/-BZ15(英語版)
データデバイスとトリガリレーのハンドシェイクの設定のみで、シーケンサに各種通信機能を追加できます。各種通信ログやシーケンサログも出力可能です。ゲートウェイパソコンなしで大量の装置プロセスデータを報告でき、既存装置のオンライン化も実現できます。
対応する通信プロトコル
SECS-I(SEMI E4)、HSMS(SEMI E37)、SECS-II(SEMI E5)、GEM(SEMI E30)
複数の装置メーカーに設定データを配布することで、新規ラインの早期立上げが可能です。通信仕様変更の際も、設定のみで素早く対応できるため、開発工数が大幅に削減できます。
C言語コントローラとSECS/GEM通信ソフトウェアの連携を活用して、SECSベースの通信インタフェースを工場全体に簡単に実装できます。
ゲートウェイパソコンのハードウェアコストの削減に加え、パソコンをクリーンルームで使用することにより発生する問題を解決します。
MES*2システムと工場をつなぎ、シーケンサの情報を保存できます。運用後、SECS/GEM通信仕様の変更が発生しても、プログラムの修正なしで柔軟に対応します。