目的別ソリューション　計装/二重化適用事例

半導体

二重化システムによる、純水供給・排水処理・ガス供給設備などの高信頼化を実現します。
片方のシーケンサダウンによる制御停止を避け、安全に製造運転を継続します。

システム構成